Filgen紫外臭氧清洗机紫外臭氧清洗机紫外臭氧清洗仪日本进口

紫外线臭氧清洗的优点 

 适用于各种基材的无损清洗。

 易 于 去 除 超 声 波 清 洗 无 法 清 洗 干 净 的 基 材 表 面 的 有 机 污 染 物 

 能 够 去 除 湿 洗 过 程 中 残 留 的 有 机 溶 剂 。 

 常 压 下 工 作 。 无需真空环境。 

 薄 膜 涂 层 基 体 预 处 理 的 理 想 解 决 方 案 。

紫外线臭氧清洗的效果-改善润湿性 

以下照片表明紫外线臭氧清洗可改善玻璃表面的润湿性。滴入相同体积的超纯水，处理15、30 分钟前后，观察其形态和接触角。这表明随着时间的推移，基材表面的有机污染物被紫外线臭 氧清洗去除。 

应用 

电子显微镜相关 

 去 除 S E M / T E M 样 品 表 面 有 机 物 污 染 

 提 高 金 刚 石 、 玻 璃 刀 、 支 撑 膜 的 润 湿 性 和 亲 水 性 薄膜涂层的预处理 

 功 能 膜 的 清 洗 (如ITO 膜) 

 各 种 薄 膜 沉 积 工 艺 前 的 清 洗

 光 刻 胶 去 除 

 电 子 、 机 械 和 光 学 部 件 的 清 洁 (如：硅片、透镜、镜面、太阳能电池板、液晶面板和 电 路板等） 

 改 善 塑 料 表 面 涂 层 的 粘 接 性 能 . 其它

 原 子 力 显 微 镜 悬 臂 梁 的 清 洗 

 聚 二 甲 基 硅 氧 烷 （ PDMS）表面改性 

 超 高 真 空 密 封 件 的 清 洗 

 清 除 助 焊 剂 

 有 机 功 能 材 料 的 刻 蚀

 玻 璃 脱 气 

 去 除 晶 圆 表 面 切 割 带 和 标 记 墨 水 

 Ta2O5薄膜退火